商品の詳細:
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商品: | プラスチックの幹を持つ1インチ軽くブタンガス補給バルブ | 使用: | ライター,ライター,ライター |
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サンプル: | 無料 | 品質: | 配送前 厳格 な 検査 を 通過 する |
材料: | 金属のチナプレート | サイズ: | 1インチ |
ハイライト: | ブタンガスライター補給エアロゾールバルブ,1インチエアロゾールバルブ,1インチのブタン補給バルブ |
汚染に敏感な環境向けに精密に設計された、このパーティクル制御 1インチ軽量ガスバルブ は、重要なガス供給システムにおける完全性を保証します。316L-VARステンレス鋼を採用し、<0.5 Ra µm電解研磨仕上げのこの 高純度ガスバルブ は、半導体プロセスガスに対してClass 1/ISO 2のパーティクル規格を達成しています。自己位置合わせ円錐シール設計により、金属同士の接触を排除し、100,000回以上の作動中のパーティクル発生を防ぎます。重要な ラボ用ガスバルブ, VCRスタイルのフェースシールを採用し、1x10⁻⁹ atm-cc/sec Heのヘリウムリークタイト性を実現し、アルシンやシランなどの特殊ガスに対してppbレベルの純度を維持します。非脱落性のPTFEステムシールとゼロデッドレッグ構成は、SEMI F72規格に適合しています。設置中のISO 14644-1 Class 3準拠検証のためのインテグラルパーティクルモニタリングポートが含まれています。
箇条書き:
✓ ナノスケール清浄度: <5 particles>0.1μm/リットル(IEST RP CC001.6準拠)
✓ 気密シール: 1x10⁻⁹ atm-cc/secヘリウムリークレート
✓ 耐腐食性: ASTM A967硝酸法による不動態化
✓ 振動のない動作: 防振ステム設計
✓ ファブ実績: SEMI F72準拠 ラボ用ガスバルブ
適用事例:
半導体クリーンルームでは、技術者がパーティクルカウンターを使用してバルブを設置し、5nmチップ製造のガスライン試運転中に汚染がないことを確認します。
FAQ:
Q: この高純度ガスバルブにはどのようなパーティクル認証が付属していますか?
A: 0.1~5.0μmの粒子分布データを含むIEST-CC0016 Class 1レポート。
Q: あなたの ラボ用ガスバルブ は、有毒ドーパントに対応していますか?
A: はい、SEMI S2カテゴリ1ガス向けに設計されており、完全な材料適合性があります。
Q: プロセスを中断することなく、パーティクルモニタリングを統合できますか?
A: はい、サンプルポートにより、ISO 14644-1準拠のインシチュ検証が可能です。
Q: アウトガス性能は?
A: <1x10⁻⁹ g/cm²/sec TML/CVCM(NASA-STD-6001B準拠)。
Q: 設置汚染管理プロトコルは提供していますか?
A: 詳細なISO 14644-5準拠の設置キットをご利用いただけます。
コンタクトパーソン: Mr. tonny xue
電話番号: 0086 13930718883
ファックス: 0086-317-5200883